- 英文名称
- 2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
- 分子式
- C6H21N3Si3
- 分子量
- 219.51
- 中文别名
- 2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅氮烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环状三硅氮烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷 25G;2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷;六甲基环三硅氮烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三氮硅烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氨烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅烷; Cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-;Cyclotrisilazane, hexamethyl-;cyclotrisilazane,2,2,4,4,6,6-hexamethyl-;Dimethylsilazane trimer;dimethylsilazanetrimer;H7250;nsc139842;2,2,4,4,6,6-Hexamethy
- 用途
- 化学合成。六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究,并可作为光刻胶中的添加剂。