- 英文名称
- 2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
- 分子式
- C6H21N3Si3
- 分子量
- 219.51
- 中文别名
- 六甲基环三硅氮烷; 2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅氮烷; 2,2,4,4,6,6-六甲基环状三硅氮烷; 1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷; 1,1,3,3,5,5-六甲基环三氮硅烷; 1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氨烷; 2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅烷; Cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-; Cyclotrisilazane, hexamethyl-; Dimethylsilazane trimer; Dimethylsilazane Cyclic Trimer; 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane; 1,1,3,3,5,5-Hexamethyl Cyclotrisilazane
- 用途
- 化学合成。六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究,并可作为光刻胶中的添加剂。