15538-93-9 3-(七氟异丙氧基)丙基三氯硅烷
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安全说明
危险等级8,危险品运输编号2987,包装类别II,海关编码2931900090,具有腐蚀性和吸湿性。GHS分类:皮肤腐蚀1B(100%),危险说明H314(100%):造成严重皮肤灼伤和眼损伤。防护措施:P260、P264、P280、P301+P330+P331、P302+P361+P354、P304+P340、P305+P354+P338、P316、P321、P363、P405、P501。
用途与制备
用于非聚合物PFAS(全氟和多氟烷基物质)相关的半导体晶圆减薄;作为薄晶圆键合和处理的涂层组合物(参考:CAS2019 (US20130201635));属于OECD分类下的PFAS
半导体工业