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993-07-7 三甲基硅烷
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993-07-7 三甲基硅烷
993-07-7 三甲基硅烷
中文名称
三甲基硅烷
英文名称
trimethylsilane
CAS号
993-07-7
分子式
C
3
H
10
Si
分子量
74.197
类别
微电子及半导体专用化学品
更新日期
2026-05-23
名称和标识
物化属性
安全信息
生产及用途
名称和标识
中文名
三甲基硅烷
英文名
trimethylsilane
CAS号
993-07-7
分子式
C3H10Si
分子量
74.197
中文别名
三甲基硅烷
英文别名
SILICON TRIMETHYL; trimethylsilicon; trimethyl-silane; Trimethylsilyl hydride,2-Methyl-2-silapropane; 2-Methyl-2-silapropane; EINECS 213-603-0; trimethyl-silan
物化属性
外观与性状
liquid
形态
液体
密度
0.638 g/cm³
折射率
1.3800 (estimate)
比重
0.638
水溶解性
安全信息
安全说明
危险品运输编号:3161，TSCA listed，海关编码:2931900050
生产及用途
用途与制备
半导体工业中的等离子相腐蚀剂；半导体领域中层间绝缘膜的成膜原料
半导体工业
1.4g/L at 20℃
水解敏感性
3: reacts with aqueous base
沸点
6.7°C
熔点
-135.9°C
精确质量
74.05520
闪点
<-29°C
LogP
2.2 at 20℃
外观性质
液体
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