2366-52-1 氟化丁基
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安全说明
该物质危险品运输编号为UN 1993(或1993),危险等级为GAS, FLAMMABLE(易燃气体),具有易燃性,TSCA listed,海关编码2903499090。
用途与制备
氟化丁基是一种氟化烷烃,被用作等离子反应用气体、含氟医药中间体、制冷剂·制热剂等介质,特别是在半导体装置制造领域,高纯度氟化丁基用作等离子蚀刻气体、CVD用气体;主要用于化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体。
半导体制造; 医药中间体; 精细化学品; 材料中间体
甲烷磺酰氟合成(推测为氟化丁基合成的关键步骤)