542-91-6 二乙基硅烷, 98+%

名称和标识

中文名: 二乙基硅烷, 98+%
英文名: Diethylsilane, 96+%
CAS号: 542-91-6
分子式: C4H12Si
分子量: 88.22
中文别名: 二乙基硅烷, 98+%
英文别名: diethylesilane; Diethylsilanealso high purity; diethyl-silan; Diethylsilane,high purity min; diethyl silane; Diethylsilane; 3-Silapentane; Silane,diethyl; EINECS 208-834-9; MFCD00039877

外观与性状: 未确定
形态: 液体
BRN: 1730902
临界压力: 未确定
临界温度: 未确定
储存条件/存储条件: 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。防止阳光直射。包装密封。应与酸类、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有合适的材料收容泄漏物。
密度: 0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
折射率: n20/D 1.391 (lit.)
敏感性: Air Sensitive
比旋光度: 未确定
比重: 0.683
水解敏感性: 3: reacts with aqueous base
沸点: 56 °C (lit.)
油水（辛醇/水）分配系数的对数值: 未确定
溶解度/溶解性: 与四氢呋喃、乙醚、1,4-二恶烷和苯混溶。
熔点: -132
燃烧热: 未确定
爆炸上限（%,V/V）: 未确定
爆炸下限: 未确定
相对蒸汽密度: 未确定
稳定性: 按规格使用和贮存，不会发生分解，避免与氧化物接触
精确质量: 88.070824
自燃点或引燃温度: 未确定
蒸气压/蒸汽压: 279.3±0.1 mmHg at 25°C
闪点: -14.5±18.7 °C
饱和蒸气压: 未确定
化学性质: 无色至淡黄色液体，对湿敏感。混溶于四氢呋喃、乙醚、1,4-二氧六环和苯。熔点 -132℃。沸点 56℃/760mmHg。密度 ρ(20)0.681-0.684g/mL。折光率 n20/D1.391。闪点 -4℉/-20℃。
LogP: 1.03160
PSA: 0.00000
外观性质: 无色至淡黄色液体，对湿敏感。

安全说明

运输信息：常温运输。危险描述：危险品运输编号UN 1993 3/PG 2，WGK Germany:1，TSCA listed，危险等级3，包装类别II，存储类别3-易燃液体，危险性类别易燃液体类别2。

用途与制备

用于微电子学所用SiO₂的化学气相沉积的试剂；作为沉积金属硅酸盐膜的硅源，用于形成电子器件中高k电介质的金属硅酸盐（金属优选铪、锆或其混合物），介电常数可基于膜中金属、硅、氧的相对原子浓度调节。

微电子学

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