25617-98-5 氮化铟(III)
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安全说明
WGK Germany:3;TSCA listed;存储类别:13 - 不可燃性固体
用途与制备
氮化铟(InN)发展成为新型的半导体功能材料,在所有Ⅲ族氮化物半导体材料中,具有良好的稳态和瞬态电学传输特性,最大的电子迁移率、峰值速率、饱和电子漂移速率、尖峰速率,最小的带隙、电子有效质量,适合用于制备高频器件,在高频率、高速率晶体管的应用开发方面具有独特优势,尤其在太赫兹器件、化学传感器、半导体发光二极管、全光谱太阳能电池等光电器件领域应用价值巨大;制备步骤包括提供衬底并沉积介电薄膜,图案化介电薄膜得到介电凸台,抽真空反应室并放入衬底,生长缓冲层形成凹槽,最后在缓冲层上生长氮化铟得到氮化铟柱。
高频器件; 太赫兹器件; 化学传感器; 半导体发光二极管; 全光谱太阳能电池
路线1:氨热分解(NH₄)₃InF₆
路线2:氨还原In₂O₃