6074-84-6 乙醇钽(V)
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安全说明
运输信息:常温运输。危险描述:危险品运输编号UN 2920 8/PG 2,WGK Germany:3,F:3-8-10-21,TSCA listed,危险等级:3,包装类别:III,海关编码:2905190019,存储类别:3- 易燃液体,危险性类别:易燃液体 类别3,信号词:Danger,危险性防范说明:P280; P305 + P351 + P338; P310,危险性描述:H226; H314,危险标志:GHS02, GHS05。
用途与制备
化学合成催化剂;通过CVD沉积制备氧化钽或金属钽涂层,水解加热生成高纯氧化钽粉末,等离子技术生成超细碳化钽粉体;用于制备氮化钽或氧化钽表面涂层,作为电子元件保护层及介电层,抑制铜与硅/二氧化硅接触后的扩散,作为铜制程阻障层。
电子元件;太阳能电池;光催化剂
氯化物化合法