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安全说明
该物质危险等级为6.1，属于有害物质。WGK Germany分类为3，TSCA已列出。
用途与制备
硅化钒是制备大规模集成电路的关键材料，可作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线；还可用于制备硅化钒薄膜和吸声陶瓷材料。
集成电路材料; 吸声陶瓷材料
