7783-63-3 四氟化钛

危险品运输编号UN 3260 8/PG 2，危险等级8，包装类别II，海关编码28261990，存储类别8A - 可燃，腐蚀性物质。危险标志GHS05、GHS07，信号词Danger。危险性描述H302+H312+H332（经口、皮肤、吸入急性毒性类别4）、H314（皮肤腐蚀类别1B）。防范说明P260、P280、P301+P312+P330等。非危险化学品（常温运输）。

用于成膜材料及离子注入掺杂；在微电子工业上用于化学气体沉积以制作低电阻、高熔点互连线；可用作HF氟化CCl4及烯烃异构化等反应的催化剂；作为有效但不稳定的防龋剂。

微电子工业; 防龋剂; 催化剂

路线1：四氯化钛与氟化氢反应

• 原料: 四氯化钛、氟化氢
• 步骤: 将50%的四氯化钛按化学计量比装入铂制或铜制反应器，滴加氟化氢反应，静置数小时；加热至200℃蒸馏出含氟化氢的氯化氢，继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，冷却得粉末产品
• 条件: 反应需在通风橱中进行；蒸馏温度200℃（蒸馏含HF的HCl），升华温度284℃以上；产物用密封铜制容器贮存
• 收率: 90%
• 注意: 采用铜制或铂制锥形瓶，干燥管连接蒸馏管，铅冷凝器冷却收集器，蒸馏管需持续加热防堵塞。