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首页/化工词典/高端新材料与电子化学/186598-40-3 双(叔丁基氨基)硅烷

186598-40-3 双(叔丁基氨基)硅烷

中文名称: 双(叔丁基氨基)硅烷
英文名称: Bis(t-butylamino)silane
CAS号
分子式: C₈HNSi

名称和标识
物化属性
安全信息
生产及用途

名称和标识

中文名: 双(叔丁基氨基)硅烷
英文名: Bis(t-butylamino)silane
CAS号: 186598-40-3
分子式: C8H22N2Si
分子量: 174.36
中文别名: N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺;双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;双(叔丁胺)硅烷;双(叔丁氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺;双（叔丁基氨基）硅烷

₂₂

₂

分子量

174.36

类别

高端新材料与电子化学

更新日期

2026-04-12

英文别名

Dl(t-Butylamino)silane bis (tert-butylamino)silane;DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE;N,N'-Bis(1,1-dimethylethyl)silanediamine;DI(T-BUTYLAMINO)SILANE;Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS;BTBAS: [NH(C4H9)]2SiH2;Bis(t-butylamino)silane, BTBAS (99.999%-Si) PURATREM

物化属性

外观与性状: liquid | colorless
形态: 液体
颜色: 无色
储存条件/存储条件: 室温，密封，干燥
密度: 0.816 g/cm3
折射率: 1.4236
敏感性: moisture sensitive, store cold
比重: 0.816
水解敏感性: 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
沸点: 167ºC
精确质量: 174.15500
蒸气压/蒸汽压: 0.641mmHg at 25°C
酸度系数(pKa): 11.91±0.70(Predicted)
闪点: 30ºC
LogP: 1.54320
PSA: 24.06000
外观性质: 无色液体

安全信息

安全说明

TSCA:TSCA listed

生产及用途

用途与制备

双（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶联剂的一种，BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体，可沉积均匀的氮化硅，可用于制备氮化硅薄膜，半导体器件和浅沟道隔离薄膜。

半导体材料制备

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