1009-93-4 2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷

运输信息：冰袋运输。危险描述：危险品运输编号1993，WGK Germany:3，RTECS号GZ4720000，F:10-21，TSCA listed，危险等级3.2，包装类别III，海关编码29349990，存储类别3-易燃液体。危险性类别：急性毒性类别4（经口）、眼部刺激类别2、易燃液体类别3、经皮刺激类别2、特异性靶器官毒性-一次接触类别3。危险标志GHS02、GHS07，危险性描述H226; H302; H315; H319; H335，危险性防范说明P261; P305 + P351 + P338，信号词Warning。

化学合成。六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究，并可作为光刻胶中的添加剂。

化学合成; 氮化硅和碳氮化硅沉积前体; 光刻胶添加剂

首次合成（1948年）

• 反应物: 二甲基二氯硅烷（Si(CH₃)₂Cl₂）和液氨（NH₃）
• 反应类型: 化学反应
• 后处理: 苯萃取沉淀
• 合成者: Brewer和Haber