76-16-4 六氟乙烷

危险品运输编号UN 2193 2.2，危险等级2.2，危险类别2.2，危险标志GHS04，危险性描述H280，信号词Warning，防范说明P410 + P403，RTECS号KI4110000，WGK Germany 3，毒害物质数据76-16-4，海关编码2903392820，TSCA listed，Hazard Note Irritant。

六氟乙烷（全氟乙烷）主要用于微电子工业中的等离子蚀刻及表面清洗，作为半导体氧化膜的超细清洁气体；在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业应用广泛，还用于医学手术及其他新开发领域；同时可用作绝缘气、高介电强度冷却剂，在光纤生产中也有应用。

微电子工业; 低温制冷; 电子清洗及蚀刻; 医学手术; 光纤生产

路线1：活性炭与氟气反应法

• 原料：活性炭、高浓氟气
• 反应过程：在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气，通过控制电加热、供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度
• 后处理：反应产物经过除尘、碱洗、脱水后，获得含CF₄、C₂F₆、C₃F₈的粗品；将粗品混合物进行间歇低温精馏提取C₂F₆，再用分子筛进一步低温吸附脱水
• 产品纯度：大于99.7%