7783-61-1 四氟化硅

危险品运输编号1859，危险等级2.3，RTECS号VW2327000。危险性描述：H300+H310+H330（吸入、皮肤接触、吞食有毒）；H314（造成严重皮肤灼伤）。危险标志GHS05（腐蚀性）、GHS06（急性毒性）。需防范：P260（禁止吸入粉尘）、P264（作业后彻底清洗）、P280（戴防护手套/护目镜）、P284（通风不良时戴呼吸防护）、P301+P310（吞食立即就医）、P302+P350（皮肤接触立即冲洗）。与水接触释放有毒气体，遇水反应剧烈。

用于制取有机硅化物、氟硅酸和氟化铝，也用于化学分析、油井钻探、催化剂、蒸熏剂；作为电子工业原料（光纤、半导体、太阳能电池），用于氮化硅、硅化钽等离子蚀刻，P型掺杂、外延沉积扩散硅源及光导纤维原料；用于氟硅酸及氟化铅制取，水泥和人造大理石硬化剂，制造纯硅中间体

电子工业（光纤、半导体、太阳能电池）；氟硅酸及氟化铝制取；化学分析；油井钻探；催化剂；蒸熏剂；水泥和人造大理石硬化剂；纯硅中间体

路线1：氟硅酸盐热分解法

• 步骤: 将25g BaCl₂·2H₂O溶于70mL水，加入30% H₂SiF₆至BaSiF₆完全沉淀，过滤、水洗至无Cl⁻，干燥后热分解；将BaSiF₆放入派热克斯玻璃反应器，真空脱水后升温至200℃干燥，杂质氟硅酸及HF在干冰-丙酮捕集器中除去，四氟化硅在液氮冷却捕集器中收集；
• 条件: 热分解温度300℃开始产生SiF₄，500℃激烈分解；
• 收率: 75%，纯度98%以上；

路线2：硅胶与氟代磺酸反应法

• 步骤: 25g含37.5%水的硅胶放入250mL烧瓶，升温至100℃，45min内滴加100g氟代磺酸，气体经干冰-丙酮捕集器除氟代磺酸，再经液氮冷却捕集器收集；反应结束后100℃保持2h；
• 条件: 反应温度100℃；
• 收率: 84%，得21.8g SiF₄；

路线3：混合酸法（不推荐）

• 步骤: 氟化钙和石英砂混合物中加入浓硫酸反应；
• 缺点: 混入大量HF和氟硅酸，收率及纯度低，不推荐