7783-54-2 三氟化氮
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安全说明
职业暴露等级A,TWA限值10 ppm(29 mg/m³),立即威胁生命和健康浓度1,000 ppm。危险品运输编号2451,危险类别2.2(非易燃气体),强氧化剂,TSCA listed,海关编码28129011。
用途与制备
三氟化氮是微电子工业优良等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻速率高、选择性好且无污染;用于IC、LCD、太阳能电池制造;作为高能化学激光器氟源;理化性质:无色无臭液化气体,稳定,不溶于水和碱,350℃分解,毒性大,急性毒性大鼠吸入LC50 176ppm(lh),美国作业环境最高容许浓度10ppm(30mg/m³);包装有20KG/44L钢瓶和8~14吨ISO管束槽;储运需库房通风低温干燥,与氢气、还原剂、油脂分开存放,灭火剂用雾状水、泡沫。
IC(半导体工业气体清洗剂、CVD箱清洗剂);LCD(蚀刻剂);太阳能电池(蚀刻和清洗气体);高能化学激光器(氟源)
路线1:氨直接氟化工艺
路线2:合成法
路线3:电解法