75-46-7 三氟甲烷

RTECS号:PB6900000，WGK Germany:1，危险品运输编码:UN 1984 2.2，危险类别:2.2

1. 用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂，及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。2. 电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一，尤其是对二氧化硅膜的刻蚀，具有刻蚀速度快，选择性好的优点。此外，氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。3. 用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。

超临界萃取溶剂；低温制冷剂；灭火剂；四氟乙烯原料；电子工业等离子体化学蚀刻剂；有机合成中间体；红外检测器直接冷却剂

路线1：R22（CHClF₂）催化歧化反应工艺

• 步骤: R22（CHClF₂）经催化歧化反应制备粗品，再经精馏除去杂质，得到99.99%以上高纯CHF₃。
• 条件: 催化歧化反应（具体催化剂及反应条件未明确提及）；精馏分离杂质。