- 英文名称
- 1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane
- 分子式
- C4Cl4F6
- 分子量
- 303.85
- 中文别名
- 1,2,3,4-四氯六氟丁烷;六氟-1,2,3,4-四氯丁烷; 1,2,3,4-TETRACHLOROHEXAFLUOROBUTANE;HEXAFLUORO-1,2,3,4-TETRACHLOROBUTANE;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane 97%;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane97%;1,2,3,4-Tetrafluorohexafluorobutane;1,2,3,4-Tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluorobutane;Perfluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane, 1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane;Butane,1,2,3,4-tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluoro-
- 用途
- 1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料，而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注，其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻，并具有很高的精准性。
